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【Hitachi】日立高性能钨灯丝扫描电镜SU3500

产品简介

通过高画质提升扫描电镜的分析能力和操作性, 凝聚日立*********科技“独具匠心”。
SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。
它为观察和分析提出了崭新的标准。

规格参数

项目

描述

二次电子分辨率 3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式）
7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式）
背散射电子分辨率 4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式）
10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式）
放大倍率 5 - 300,000倍（底片倍率＊5）
7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6）
加速电压 0.3 - 30kV
可变压力范围 6 - 650Pa
******样品尺寸 直径 200mm
样品台 X 0 - 100mm
Y 0 - 50mm
Z 5 - 65mm
R 360°
T -20° - 90°
可观察区域 直径 130mm （旋转并用）
******样品高度 80mm（WD=10mm）
马达台 5轴标配
电子光学系统 电子枪 预对中的钨灯丝
物镜光阑 4孔可动光阑
探检测器 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器
EDX分析 WD 10mm（取出角35°）
图像显示 操作系统 Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知）
图像显示模式 全屏模式（1,280 × 960 像素）
小屏模式（800 × 600 像素）
双图像显示（800 × 600 像素）
四屏幕显示（640 × 480像素）
信号混合模式
排气系统 操作 全自动排气
涡轮分子泵 210升/秒 × 1
机械泵 135L/min（162L/min，60Hz）× 1





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